国信证券_高端刻蚀设备全面导入，先进膜薄运付量快速增长_20260506.pdf

国信证券2026-05-06查看原文

摘要

1国信证券维持中微公司“优于大市”评级。

22025年营收123.85亿元（+36.6%），归母净利润21.11亿元（+30.7%）；

32026Q1营收29.15亿元（+34.1%），净利9.30亿元（+197.2%，含出售拓荆科技收益）。

4高端刻蚀设备全面导入，薄膜设备快速增长。

5预计2026-2028年营收158.7/207.0/267.9亿元，净利润30.5/39.2/49.2亿元，对应PE 77/60/48倍。

文本

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中微公司（688012.SH）

高端刻蚀设备全面导入，先进膜薄运付量快速增长

核心观点

1Q25营收同比增长34.13%，归母净利润同比增长197.20%。公司发布2026年第一季度报告，实现营收29.15亿元（YoY+34.13%），归母净利润9.30亿元（YoY+197.20%），扣非归母净利润4.78亿元（YoY+60.09%）。综合毛利率达到 39.89% （QoQ+0.6pp），研发支出9.08亿元（YoY+32.15%）。收入端增长主要因应用于先进逻辑（中段关键刻蚀工艺）与存储（超高深宽比刻蚀工艺）的高端产品实现量产，且运量显著提升。利润端，公司本期出售了部分持有的拓荆科技股票，产生税后净收益约3.97亿元。期末公司合同负债达28.53亿元，存货达72.59亿元，显示公司在手订单饱满。

2025年营收同比增长 36.62%，归母净利润同比增长 30.69%。公司2025年实现营收123.85亿元（YoY+36.62%），归母净利润21.11亿元（YoY+30.69%），扣非归母净利润15.50亿元（YoY+11.64%），综合毛利率 39.17%（YoY -1.89pp）。公司刻蚀设备实现收入98.32亿元（YoY+35.12%），覆盖从65nm到3nm及更先进工艺的刻蚀应用，刻蚀设备全球累计出货超6800台。薄膜设备实现收入5.06亿元，同比增长 224.23% ，LPCVD设备累计出货量突破300个反应台。25年薄膜设备新签订单约7.56亿元，同比增长约 59%。MOCVD设备方面，开发出用于SiC和GaN功率器件、MicroLED等领域的新产品。

高端刻蚀设备全面导入应用，先进薄膜设备运付量快速增长。先进存储中，公司超高深宽比刻蚀机已有300多台反应器实现稳定量产，下一代90:1超高深宽比低温CCP刻蚀设备已运付客户端进行验证。第二代ICP刻蚀设备在3D DRAM应用中取得140:1高深宽刻蚀结果和形貌控制能力，并付运到国内领先存储客户端认证。全新化学气相刻蚀设备实现大于700:1的业界领先 SiGe/Si的高选择比，在GAA和3D DRAM关键工艺的实验室验证中，全面满足客户的各项工艺指标要求。薄膜设备方面，公司减压EPI设备已在成熟制程客户端验证成功，并已付运至先进制程客户；常压外延设备现已完成开发，进入晶圆验证阶段。目前公司累计已有超8300个反应台在国内外180余条芯片及LED生产线全面量产。

投资建议：国内半导体先进设备公司，维持“优于大市”评级。国内半导体设备需求旺盛，公司平台化发展优势有望逐步体现，我们预计公司2026-2028年营业收入158.70/207.00/267.93亿元（26-27年前值151.32/193.33亿元），归母净利润30.47/39.22/49.22亿元（26-27年前值31.38/39.86亿元），当前对应PE分别为77/60/48倍，维持“优于大市”评级。

风险提示：下游晶圆制造产能扩充不及预期风险，新产品开发不及预期风险，国际关系波动和地缘政治风险等。

盈利预测和财务指标

2024

2025

2026E

2027E

2028E

营业收入(百万元)

9,065

12,385

15,870

20,700

26,792

(+/-%)

44.7%

36.6%

28.1%

30.4%

29.4%

净利润(百万元)

1616

2111

3047

3922

4921

(+/-%)

-9.5%

30.7%

44.3%

28.7%

25.5%

每股收益(元)

2.60

3.37

4.87

6.26

7.86

EBIT Margin

13.0%

9.2%

12.8%

13.9%

14.9%

净资产收益率(ROE)

8.2%

9.3%

12.0%

13.5%

14.7%

市盈率(PE)

145.0

111.6

77.3

60.1

47.9

EV/EBITDA

168.9

163.6

95.2

66.3

49.1

市净率(PB)

11.87

10.38

9.26

8.13

7.05

资料来源：Wind、国信证券经济研究所预测

注：摊薄每股收益按最新总股本计算

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证券分析师：胡慧

021-60871321

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S0980521080002

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基础数据

投资评级

优于大市(维持)

合理估值

收盘价

376.30元

总市值/流通市值

235909/235909百万元

52周最高价/最低价

397.30/164.88元

近3个月日均成交额

3479.36百万元

市场走势

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资料来源：Wind、国信证券经济研究所整理

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分析师声明

作者保证报告所采用的数据均来自合规渠道；分析逻辑基于作者的职业理解，通过合理判断并得出结论，力求独立、客观、公正，结论不受任何第三方的授意或影响；作者在过去、现在或未来未就其研究报告所提供的具体建议或所表述的意见直接或间接收取任何报酬，特此声明。

国信证券投资评级

投资评级标准

类别

级别

说明

报告中投资建议所涉及的评级（如有）分为股票评级和行业评级（另有说明的除外）。评级标准为报告发布日后6到12个月内的相对市场表现，也即报告发布日后的6到12个月内公司股价（或行业指数）相对同期相关证券市场代表性指数的涨跌幅作为基准。A股市场以沪深300指数（000300.SH）作为基准；新三板市场以三板成指（899001.CSI）为基准；香港市场以恒生指数（HSI.HI）作为基准；美国市场以标普500指数（SPX.GI）或纳斯达克指数（IXIC.GI）为基准。

股票投资评级

优于大市

股价表现优于市场代表性指数10%以上

中性

股价表现介于市场代表性指数±10%之间

弱于大市

股价表现弱于市场代表性指数10%以上

无评级

股价与市场代表性指数相比无明确观点

行业投资评级

优于大市

行业指数表现优于市场代表性指数10%以上

中性

行业指数表现介于市场代表性指数±10%之间

弱于大市

行业指数表现弱于市场代表性指数10%以上

重要声明

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