非金属建材行业研究

行业专题研究报告

建筑建材组

分析师：李阳（执业S1130524120003）

liyang10@gjzq.com.cn

静电卡盘七问七答，聚焦半导体核心部件与材料（一）

投资逻辑：

静电卡盘是半导体真空等离子工艺不可或缺的晶圆核心承载部件，功能具备不可替代性。产品依靠静电吸附效应无损伤夹持超薄晶圆，集成多区温控、氦气导热结构，整体由陶瓷盘面、电极、加热组件、支撑底板四大模块构成，广泛配套刻蚀、薄膜沉积、离子注入等核心半导体设备腔体。

静电卡盘属于亟待国产替代的高价值核心陶瓷零部件，在晶圆制造环节地位关键。它能够规避传统机械夹持造成的晶圆划伤、颗粒污染、片体偏移问题，温控与等离子调控能力直接决定芯片最终良率；从采购价值来看，静电卡盘占到晶圆厂零部件采购总额的 9%，行业国产化需求迫切。

静电卡盘拥有多维度划分体系，不同品类对应不同工艺场景，产品价值差距明显。按照吸附原理可分为库伦型、J-R型，电极结构分为单极、双极型，基体陶瓷以氧化铝为主流，占市场收入 87.84%，氮化铝、碳化硅适配高端先进制程；按下游工艺可分为薄膜、刻蚀、离子注入卡盘，其中离子注入卡盘单品价值最高。

静电卡盘整套制造工序链条完整复杂，陶瓷加工与集成装配是两大核心环节。生产以原料来料检测为起点，同步开展水冷盘钎焊、陶瓷钎焊、配件备料三道工序，完成总装集成焊接后，再经过清洗烘干、真空除气、全套可靠性性能检测，无尘包装后交付半导体设备厂商与晶圆制造企业，全程对洁净度、加工精度要求严苛。

行业形成技术、客户认证双重高壁垒，新入局厂商短期难以实现规模化突破。技术层面，高纯氧化铝、氮化铝粉体长期由日本企业垄断，粉体制备、流延成型、多层陶瓷共烧结工艺容错率极低；客户端产品验证周期长达2-3年，高端产品验证标准更高，一旦导入量产线，出于产线稳定考量，客户极少更换供应商，头部企业护城河稳固。

全球静电卡盘市场长期稳健扩容，国内市场将凭借国产化红利迎来更快增长。2025年全球市场规模13.27亿美元， 2026-2032年复合增速 5.84%；北美、日本为全球核心消费区域，中国大陆当前仅占全球 8.11%，后续本土晶圆持续扩产将拉动需求持续释放，高端12英寸卡盘带动产品均价稳步上行，行业长期毛利率维持 30%-45%区间。

全球市场供给高度集中，日系企业占据主导，国内厂商加速突围。海外NGK、新光电气、TOTO等五家日本企业合计占据 75.98%市场份额；国内华卓精科、珂玛科技已实现稳定批量供货，同步加码12英寸高端卡盘产能；短期成熟8英寸产品供给增加或引发价格竞争，但高端氮化铝卡盘供给紧缺，拥有完整量产能力、绑定头部设备厂的龙头具备长期优势。

风险提示

客户长周期验证风险；上游材料供给不足风险；行业竞争与价格下行风险；半导体周期与产能消化风险。



内容目录

1 静电卡盘是什么？ 3

2 静电卡盘的重要性？ 3

3 静电卡盘的分类及用途？ 4

4 静电卡盘的生产流程？ 5

5 静电卡盘的核心壁垒？ 5

5.1 技术壁垒 5

5.2 客户认证壁垒 6

6 静电卡盘的行业规模？ 6

7 静电卡盘的市场竞争格局？ 7

风险提示 9

图表目录

图表 1: 半导体设备工艺腔体及静电卡盘工作原理 ... 3

图表 2: 静电卡盘产品结构 ... 3

图表 3: 静电卡盘在晶圆厂零部件采购金额中占比 9% ... 3

图表 4: 库伦型（上）/J-R 型（下）静电卡盘工作原理 ... 4

图表 5: 分材料类型静电卡盘 2025 年收入份额 ... 4

图表 6: 单极型(左)/双极型（右）静电卡盘工作原理 ... 4

图表 7: 华卓精科静电卡盘产品类型 ... 5

图表 8: 静电卡盘产业链 ... 5

图表 9: 静电卡盘组装流程 ... 5

图表 10: 陶瓷盘制作流程 ... 6

图表 11: 日本厂商长期垄断高性能粉体市场 ... 6

图表 12: 2025 年静电卡盘市场按区域划分占比情况 ... 7

图表 13: 静电卡盘核心市场指标 ... 7

图表 14: 全球静电卡盘市场供给高度集中 ... 8

图表 15: 静电卡盘行业主要企业 ... 8



1 静电卡盘是什么？

静电卡盘是（ESC）是一种适用于真空及等离子体工况环境的超洁净晶圆片承载体，利用静电吸附原理实现超薄晶圆片的平整均匀夹持。在半导体领域，静电卡盘是半导体设备的核心零部件，核心工作原理是基于静电吸附效应，通过库仑力或约翰森一拉别克力的作用，在真空环境下实现对晶圆的无接触式夹持，避免物理损伤与颗粒污染。同时，静电卡盘通过背面预设的氦气通道，向晶圆与卡盘的间隙施加高压氦气作为传热介质，大幅降低两者间的热阻，配合内置的多区独立温控回路，实现-100 $ ^{\circ} \mathrm{C} $至 $ 6 0 0^{\circ} \mathrm{C} $范围内的精准控温，能够实时补偿晶圆的翘曲变形，确保晶圆表面始终保持纳米级平整度。

静电卡盘核心组成包含陶瓷盘面、电极、温控加热组件与支撑底板四大模块： $ \textcircled{1} $陶瓷盘面：设备核心承载工作面，晶圆直接贴合放置并完成吸附固定。 $ \textcircled{2} $电极层：施加电压后构建静电场，依靠电场作用力吸附固定晶圆片。 $ \textcircled{3} $加热组件：承担整机温度调节职能，是各类半导体工艺制程不可或缺的温控部件。 $ \textcircled{4} $支撑底板：为整套静电卡盘提供机械支撑，保障各功能部件装配对位、结构稳固。

图表1：半导体设备工艺腔体及静电卡盘工作原理


图表2：静电卡盘产品结构

来源：华卓精科招股说明书，国金证券研究所


来源：SHINKO官网，国金证券研究所

2 静电卡盘的重要性？

静电卡盘是亟需国产替代的关键陶瓷零部件。功能上，静电卡盘是半导体设备核心零部件，解决机械夹持带来的划伤、颗粒污染与晶圆偏移问题，同时集成精密温控、氦气导热与射频偏压功能，精准调控晶圆温度和等离子轰击状态，直接决定加工均匀度与芯片良率。价值量上，静电卡盘在晶圆厂零部件采购金额中占比较高。据芯谋研究统计，2020年我国晶圆厂采购的静电卡盘金额占所有采购零部件产品的 9%。

图表3：静电卡盘在晶圆厂零部件采购金额中占比 9%


来源：粉体网，国金证券研究所



3 静电卡盘的分类及用途？

静电卡盘主要分类标准包括静电吸附原理、内部电极结构、基体陶瓷材质和半导体工艺场景：

静电吸附原理分类：可分为库伦型（Coulomb型）和J-R型（Johnsen-Rahbek型）。库伦型依靠介质极化电荷产生吸附力，吸附力偏弱，工作电压3000V-4000V，优点在于断电后残电荷少、脱片快、无漏电流；通常用于离子注入、薄膜沉积等场景。J-R型陶瓷内部掺杂导电填料，介电层弱半导体特性，存在微量自由电荷，吸附力是库伦型数倍，工作电压500V-800V，优点在于夹持力大、温控导热好、适配高温等离子刻蚀；通常用于刻蚀环节。

内部电极结构分类：可分为单极型和双极型。单极型静电卡盘只有在腔室产生等离子时，才能实现吸附晶圆的作用，可能会使晶圆的位置发生移动。双极型的两极可以形成吸附回路吸附晶圆，腔室没有等离子时仍具备吸附晶圆功能，工艺稳定性强于单极型，是多数半导体设备所应用的静电卡盘类型。

基体陶瓷材质分类：可分为氧化铝、氮化铝、氮化硅和薄膜型（聚酰亚胺PI、硅橡胶）。氧化铝型是目前主流，优点是成本低、绝缘性好；氮化铝型导电系数高，温控均匀，一般用于高端刻蚀/薄膜沉积；碳化硅耐高温、耐强等离子腐蚀，多用于第三代半导体晶圆；薄膜型适用于柔性超薄工件、实验室小设备使用。

图表4：库伦型（上）/J-R型（下）静电卡盘工作原理


来源：艾邦陶瓷展公众号，国金证券研究所

图表5：分材料类型静电卡盘2025年收入份额


来源：QYResearch，国金证券研究所

图表6：单极型（左）/双极型（右）静电卡盘工作原理


来源：艾邦陶瓷展公众号，国金证券研究所

半导体工艺场景分类：目前主流的分类标准，分别对应晶圆制造的薄膜沉积（物理气相沉积、化学气相沉积、原子层沉积）、刻蚀、离子注入环节。按照价值量划分，离子注入卡盘>刻蚀卡盘>原子层沉积（ALD）卡盘>等离子增强化学气相沉积（PECVD）卡盘>物理沉积（PVD）卡盘。


图表7：华卓精科静电卡盘产品类型


来源：华卓精科招股说明书，国金证券研究所

4 静电卡盘的生产流程？

静电卡盘的原料包含氮化铝/氧化铝陶瓷、水冷铝基座和集成配套配件（电极接线端子、密封垫圈、顶针组件、隔热件、紧固件等）。中游组装厂商以基座、陶瓷及配套集成配件来料检测为起始，检测完成后同步推进水冷盘钎焊、陶瓷钎焊、集成配件备料三道并行工序，待各前置工序全部完成后开展总装集成焊接，完成整机结构与接口一体化装配，之后对产品进行清洗烘干处理，去除加工杂质并真空除气，再实施全套性能可靠性检测，各项指标合格后进行无尘包装，最终发货给下游晶圆厂/半导体设备厂等客户。

图表8：静电卡盘产业链

静电卡盘产业链


图表9：静电卡盘组装流程

来源：QYResearch，国金证券研究所


来源：华卓精科招股说明书，国金证券研究所

5 静电卡盘的核心壁垒？

5.1 技术壁垒

静电卡盘技术壁垒在于氧化铝/氮化铝陶瓷基体的制备。现有的静电卡盘通常使用多层陶瓷封装工艺进行制备，一般需经过粉体制备-混料-造粒-生胚成型-流延成型-生胚加工-印刷-叠片-烧结-共烧-精加工-产品质量检测-表面处理环节，在这之中的核心技术难点在于粉体制备、流延成型和共烧结。


图表10：陶瓷盘制作流程

生产工序

工艺过程图示

工序描述与作用

混料

将原粉、溶剂、添加剂等根据配方进行混合，使其充分混合均匀

造粒

将混合浆料引入造粒塔，在负压、离心高速旋转条件下，浆料呈现撕裂液膜状，经空气干燥后形成具有流动性的粉末

生坯成型

针对不同材料及产品特点，使用干压、冷等静压和注射成型等方式将造粒粉压实形成具有一定强度的坯料

流延成型

将陶瓷粉末与有机溶液混配成有黏度的料浆，料浆从容器中均匀流溢，其被刮刀刮压涂敷在专用基带上，经干燥、固化后从膜带剥离开成为陶瓷生瓷薄片

生坯加工

使用刀具等对坯料进行烧结前的加工

印刷

在丝网印刷机刮刀作用下，金属浆料透过网版上的电极图案网孔沉积在基板上，固化后，经高温烧结后制成电极

叠片

将多层陶瓷盘层叠压实成一体

烧结

将生坯在高温烧结炉中烧结，陶瓷颗粒间相互键联，晶粒长大，气孔和晶界空隙减小，形成致密、坚硬的多晶陶瓷体

共烧

将陶瓷与金属压合，从单轴方向加压的同时加热，成型和烧结过程同时完成

精加工

使用刀具、机床等对烧结后的陶瓷体进行精密加工

产品质量检测

根据图纸，对产品外观、尺寸及关键性能参数指标进行检测，对产成品进行有效的质量管控

表面处理

针对产品特点和客户要求，实施喷砂、熔射、清洗等表面处理

来源：粉体网，国金证券研究所

粉体制备是最核心技术难点，日本厂商长期垄断高性能粉体市场。目前高纯度粉体主要由日本厂商住友化学和德山化工提供。高纯度氧化铝/氮化铝陶瓷粉体的制备难点集中在四个方面：

$ \textcircled{1} $纯度要求严苛，需通过萃取、离子交换等工艺降低硅、铁、钙等杂质含量，微量杂质便会劣化陶瓷绝缘、导热性能。

$ \textcircled{2} $ $ \textcircled{2} $粉体依靠原子分子层面化学反应生成，不能仅靠研磨，需精准控温、气氛、配比完成热解或碳热还原反应。

$ \textcircled{3} $纳米/亚微米粒径调控难度大，必须严格让晶体成核速率远大于生长速率，借助溶胶-凝胶、等离子体、表面包覆等复杂手段抑制晶粒过度长大，参数稍有偏差就会出现粒径不均。

$ \textcircled{4} $高温反应工况苛刻，氧化铝煅烧、氮化铝氮化阶段均需上千度高温与特种保护气氛，氮化铝反应后还需额外工序去除残碳，同时团聚体解碎分级、保证粉体高活性以实现陶瓷完全致密化、细晶均质结构，整套工艺链条长、容错率极低。

图表11：日本厂商长期垄断高性能粉体市场

材料

核心供应商

市场地位

高纯度氧化铝Al2O3

住友化学(Sunitomo)

高端市场传统巨头，粒度均匀性与批次稳定性被公认为行业标杆，半导体制造商首选

高纯度氮化铝AIN

德山化工(TOKUYAMA)

氮化铝粉体的"代名词"，技术壁垒极高，产品性能在全球处于绝对领先地位

来源：国金证券研究所

5.2 客户认证壁垒

半导体设备及零部件直接关系下游客户产线的工艺能力、产品良率及量产稳定性，客户通常对供应商选择较为审慎。相关产品进入客户供应链前，通常需经过样机测试、工艺适配、产线验证及批量导入等多个环节，验证周期较长、验证标准严格。产品一旦通过验证并进入客户量产体系，基于产线稳定性和替换成本的考量，客户不易更换供应商，因此行业具有较高的客户验证壁垒。

6 静电卡盘的行业规模？

全球静电卡盘市场处于“规模不大但战略价值高”的阶段。根据QYResearch的数据，2025年全球市场规模约为13.27亿美元，预计到2032年将达到20.21亿美元，2026-2032年复合增速约为 5.84%，整体将呈现“前期增速偏平、后期加快”的节奏。

从区域结构看，北美、日本、中国台湾、韩国和中国大陆是主要消费市场。2025年北美销售额为5.96亿美元，占全



球 44.87% ，主要受先进逻辑、设备厂及大型晶圆厂需求支撑；日本销售额为2.88亿美元，占 21.68% ，在材料、陶瓷加工及设备配套方面具有深厚积累；中国大陆市场销售额为1.08亿美元，占 8.11% ，随着本土晶圆厂扩产和设备零部件国产化推进，预计2032年占比提升至 9.17%。

从制造与盈利特征看，静电卡盘制造涉及陶瓷粉体配方、成型烧结、电极嵌入、热管理结构设计、精密加工、表面处理、清洗检测和客户验证等环节，工艺链条长、良率爬坡慢、认证周期长。行业毛利率通常为 30%-45%，受材料体系、晶圆尺寸、温控区数量、工艺平台、客户认证深度和批量交付能力影响较大。

图表12：2025年静电卡盘市场按区域划分占比情况


来源：QYResearch，国金证券研究所

图表13：静电卡盘核心市场指标

指标

2025年

2032年

说明

销售额

13.27亿美元

20.21亿美元

2026-2032年复合增长率为5.84%

销售量

58366件

87522件

2026-2032年复合增长率为5.71%

平均售价

2.27万美元/件

2.31万美元/件

随高端ESC占比提升保持稳定上行

最大消费区域

北美

北美

2025年北美销售额为5.96亿美元

最大生产区域

日本

日本

2025年日本产量份额为84.68%

最大应用领域

氧化铝静电卡盘

氧化铝静电卡盘

2025年氧化铝ESC收入占比为87.84%

毛利率

30%-45%

-

取决于材料体系、尺寸、温控结构和客户认证

来源：QYResearch，国金证券研究所

7 静电卡盘的市场竞争格局？

全球静电卡盘市场供应高度集中，日本头部五家企业合计占据超过 75%市场份额。根据QY Research的数据，2025年 NGK Insulators、SHINKO、TOTO、NTK CERATEC和Entegris合计占全球 75.98%的收入份额，其中，日本企业在陶瓷材料体系、设备平台配套、客户认证和批量供货方面占据明显优势。第二梯队包括 Sumitomo Osaka Cement、LK ENGINEERING、MiCo、Kyocera、Technetics和Creative Technology Corporation等，主要围绕特定材料体系、工艺设备和区域客户形成差异化竞争。

国内企业正在加速导入半导体设备供应链，华卓精科、珂玛科技等企业已实现半导体静电卡盘稳定供货。未来竞争重点将集中在12英寸产品稳定性、多区温控设计、洁净度控制、客户验证周期缩短、产能爬坡和本土设备厂协同开发能力：

华卓精科：国内综合实力领先，产品覆盖刻蚀、物理气相沉积（PVD）、离子注入全品类静电卡盘，下游客户包括中微公司、北方华创等多家头部晶圆厂。

珂玛科技：半导体核心陶瓷零部件国产替代企业，陆续研发陶瓷结构件、陶瓷加热器、静电卡盘等核心“卡脖子”产品，目前8寸单极刻蚀静电卡盘小批量交付、12寸单极刻蚀静电卡盘小规模量产。

江丰电子：25年1月与韩国KSTE签署合作协议，共同拓展静电吸盘国内市场。7月拟定增募资19.48亿元，10亿元用于年产5100个静电卡盘产业化项目。


图表14：全球静电卡盘市场供给高度集中


来源：QYResearch，国金证券研究所

图表15：静电卡盘行业主要企业

公司

公司概况

主要产品

经营情况

新光电气(SHINKO)

成立于1946年,总部位于日本,主要从事半导体及电子元器件相关产品制造,在半导体封装基板及电子组件领域具有较强技术积累

半导体封装基板、静电卡盘及电子组件等产品

根据2025财年财务资料,新光电气实现营业收入2,150.22亿日元;根据公司可持续发展报告,ShinkoGroup合并口径员工总数约为5,300人

TOTO

成立于1917年,总部位于日本,除民用陶瓷产品外,在先进陶瓷及精密陶瓷领域具有一定技术积累

精密陶瓷部件、静电卡盘等产品

根据TOTO2025财年财务数据,TOTO2025财年实现营业收入7,374亿日元,公司员工总数约为34,000人

NTK

成立于1987年,总部位于日本,主要从事精密陶瓷产品制造,提供半导体及液晶用关键陶瓷部件

真空卡盘、静电卡盘等产品

NTKCERATEC未单独披露营业收入;根据母公司Niterra2025财年财务资料,Niterra集团合并营业收入为7,312亿日元,公司全球员工人数约为15,000人

英特格(Entegris)

成立于1966年,总部位于美国马萨诸塞州,是纳斯达克上市的全球半导体材料与关键部件供应商,在污染控制、先进材料及晶圆处理相关产品领域具有较强实力

半导体先进材料、过滤净化与晶圆处理产品等,主要包括静电卡盘、真空卡盘、FOUP、过滤与纯化材料及其他晶圆制造相关耗材和部件

根据公司2025Form10-K,2025财年营业收入为31.97亿美元;截至2025年末,公司全球员工约为7,700人

珂玛科技

成立于2009年,总部位于江苏苏州,是国内先进陶瓷材料零部件供应商,围绕半导体设备关键部件持续布局,在静电卡盘、陶瓷加热器等产品领域具有较强技术积累

先进陶瓷材料零部件及配套服务,主要包括静电卡盘、陶瓷加热器、陶瓷结构件,以及清洗、表面处理等相关服务

根据公司2025年年度报告,2025年实现营业收入10.73亿元,公司员工总数为1,459人

江丰电子

公司江丰电子成立于2005年,深耕超高纯金属溅射靶材和半导体精密零部件领域。公司25年1月与韩国KSTE签署合作协议,共同拓展静电吸盘国内市场。7月拟定增募资19.48亿元,10亿元用于年产5100个静电卡盘产业化项目

超高纯金属溅射靶材、静电卡盘、金属/硅精密零部件、石英零部件

2025年江丰电子营收46.04亿元、归母净利润5亿元,同比分别增27.72%、24.70%,靶材主业稳健盈利提升,精密零部件(含静电卡盘)快速放量但产能爬坡拖累板块毛利率

来源：华卓精科招股说明书，江丰电子公告，国金证券研究所



风险提示

(1) 客户长周期验证风险：静电卡盘导入设备厂、晶圆厂全流程验证周期普遍2-3年，高端氮化铝多区卡盘验证难度更高；若产品性能、等离子寿命、温控均匀性测试不达标，会延缓放量节奏，新增产能存在长期无法盈利风险。

(2) 上游材料供给不足：高端氮化铝高纯粉体、特种烧结设备高度依赖进口，供应链稳定性存隐患；陶瓷烧结、陶瓷金属钎焊工艺难度大，量产良率易波动，拉高单位制造成本、压缩盈利空间。

(3) 行业竞争与价格下行风险：江丰、珂玛、鼎龙等多家企业同步扩产静电卡盘产能，未来供给持续增加；叠加海外日系厂商降价竞争，成熟8英寸卡盘或出现价格战，行业毛利率承压。

(4) 半导体周期与产能消化风险：行业需求高度绑定晶圆厂资本开支，若存储、逻辑芯片景气下行，下游扩产放缓将直接减少卡盘采购；当前多家企业大额资本开支新建产线，若下游订单落地不及预期，将面临产能闲置、大额折旧拖累业绩风险。



行业投资评级的说明：

买入：预期未来3-6个月内该行业上涨幅度超过大盘在 $15\%$ 以上；

增持：预期未来3-6个月内该行业上涨幅度超过大盘在 $5\% -15\%$；

中性：预期未来3一6个月内该行业变动幅度相对大盘在 $ - 5\% - 5\% $;

减持：预期未来3一6个月内该行业下跌幅度超过大盘在 5%以上。



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