先锋精科：光刻机零部件已实现部分产品量产交付

在4月21日召开的2025年年度业绩会上，先锋精科董事长、总经理游利回复陶瓷加热器、光刻机部件研发进展时介绍，公司陶瓷加热器研发按计划有序开展，光刻机零部件已实现部分产品量产交付。