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先锋精科：拟定增募资不超过7.5亿元，用于半导体先进制程核心工艺金属器件扩建项目、半导体先进制程核心工艺非金属材料及器件研发、生产新建项目、半导体设备用陶瓷静电吸盘研发项目、补充流动资金。