华海清科获得国内首台全自动板级CMP量产装备订单

据华海清科微信公众号消息，近日，华海清科自主研发的国内首台510*515mm尺寸全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX成功获得先进封装领域重要客户订单，将按计划进入客户端产线投入量产应用。