锐科激光：飞秒激光器已在TGV激光制孔工艺应用

锐科激光：飞秒激光器已在TGV激光制孔工艺应用|锐科激光在互动平台称，子公司国神光电的皮秒激光器已经在碳化硅晶圆切割等领域实现成熟批量应用，飞秒激光器已经在TGV激光制孔工艺成功应用，相关研发与量产能力持续夯实。