半导体设备板块再度拉升，华海清科等股创新高

半导体设备板块再度拉升，华海清科、富创精密、恒运昌盘中创新高，富乐德涨超10%，京仪装备、中微公司、先锋精科、至纯科技、北方华创跟涨。