ETF收评:机器人ETF领涨4.72%，科创半导体设备ETF领跌5.56%

ETF收盘涨跌不一，机器人ETF(159039)领涨4.72%，机器人ETF (159530)涨4.30%，机器人ETF(159048)涨4.29%，科创半导体设备ETF(588710)领跌5.56%，科创半导体设备ETF(589020)跌5.51%，科创半导体ETF (588170) 跌5.5%。