中信证券股份有限公司 关于江苏微导纳米科技股份有限公司 2026 半年度持续督导跟踪报告

作为正在对江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“微导纳米”“公司”）

进行持续督导工作的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证 券交易所科创板股票上市规则》等相关规定，中信证券履行持续督导职责，并出 具本持续督导半年度跟踪报告。

中信证券股份有限公司（以下简称“中信证券”或“保荐人”）作为江苏微 导纳米科技股份有限公司（以下简称“微导纳米”“公司”或“上市公司”）向 不特定对象发行可转换公司债券的保荐人，于 2024 年 10 月 21 日与公司签订保 荐协议。根据中国证监会《证券发行上市保荐业务管理办法》等相关规定，公司 因再次申请发行证券另行聘请保荐人，应当终止与原保荐人的保荐协议，由另行 聘请的保荐人完成原保荐人尚未完成的持续督导工作。因此，自公司与中信证券 签订保荐协议之日起，浙商证券股份有限公司尚未完成的持续督导工作将由中信 证券承接。根据《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上海证券交易所科创板 股票上市规则》等相关规定，中信证券履行持续督导职责，并出具本持续督导半 年度跟踪报告。

一、持续督导工作概述

• 1、保荐人制定了持续督导工作制度，制定了相应的工作计划，明确了现场

检查的工作要求。

• 2、保荐人已与公司签订保荐协议，该协议已明确了双方在持续督导期间的

权利义务，并报上海证券交易所备案。

• 3、本持续督导期间，保荐人通过与公司的日常沟通、现场回访等方式开展

持续督导工作，并于 2026 年 4 月 13 日、21 日、28 日对公司进行了现场检查。

• 4、本持续督导期间，保荐人根据相关法规和规范性文件的要求履行持续督

导职责，具体内容包括：

• （1）查阅公司章程、股东会及董事会议事规则等公司治理制度、股东会及

董事会会议材料；

• （2）查阅公司财务管理、会计核算和内部审计等内部控制制度，查阅公司

一季度报告、半年度报告等文件；

• （3）查阅公司与控股股东、实际控制人及其关联方的资金往来明细及相关

内部审议文件、信息披露文件；

• （4）查阅公司募集资金管理相关制度、募集资金使用信息披露文件和决策

程序文件、募集资金专户银行对账单、募集资金使用明细账、公司出具的 2026 年半年度公司募集资金存放、管理与实际使用情况专项报告；

• （5）对公司高级管理人员进行访谈；
• （6）对公司及其控股股东、实际控制人、董事、监事、高级管理人员进行

公开信息查询；

• （7）查询公司公告的各项承诺并核查承诺履行情况；
• （8）通过公开网络检索、舆情监控等方式关注与发行人相关的媒体报道情

况。

二、保荐人和保荐代表人发现的问题及整改情况

基于前述保荐人开展的持续督导工作，本持续督导期间，保荐人和保荐代表 人未发现公司存在重大问题。 三、重大风险事项

本持续督导期间，公司主要的风险事项如下：

（一）核心竞争力风险

随着技术和应用领域的不断发展，下游客户对薄膜沉积设备工艺路线、材料 类型、技术指标等要求也不断变化，因此会对产品提出新的要求。公司紧跟行业

技术发展趋势为客户提供具有技术优势的高附加值产品及应用解决方案。但若公 司未能准确理解下游客户的产线设备及工艺技术演进需求，或者技术创新产品不 能契合客户需求，可能导致公司设备无法满足下游生产制造商的需要，从而对公 司的经营业绩造成不利影响。

（二）经营风险

1、新产品验证进度不及预期的风险

公司薄膜沉积设备主要应用于半导体晶圆、光伏电池片的生产环节，客户对 公司新产品的验证要求较高、验证周期较长，新产品存在验证进度不及预期的风 险。

2、季度业绩波动风险

客户采购存在非均匀、非连续等特征，这导致公司各季度间的订单签订金额 存在较大波动。此外，受产品开发和生产周期、下游市场环境、客户经营状况等 因素影响，公司各订单从合同签订、发货到最终验收的周期也存在较大差异，从 而使得公司各季度的营业收入波动较大。而与此同时，公司的期间费用支出有较 强刚性。由此导致了公司各季度经营业绩存在波动，甚至可能出现单个季度亏损 的风险。

3、订单履行风险

公司设备类产品在手订单较多，若在订单执行过程中，受到国内行业行情加 剧下行、客户需求发生变化等不可预计或不可抗力等因素的影响，有可能会导致 部分订单无法履行或终止的风险。

（三）财务风险

1、存货跌价的风险

公司存货账面余额较高，主要是由于公司发出商品的验收周期相对较长导致。 公司已按照会计政策的要求并结合存货的实际状况计提了存货跌价准备，但仍不 能排除市场环境发生变化，或其他难以预计的原因，导致存货无法顺利实现销售， 或者存货价格出现大幅下跌的情况，使得公司面临存货跌价风险。

2、应收账款和合同资产无法回收的风险

近年来，随着公司业务规模的快速增长，应收账款和合同资产保持较高规模 水平。如果出现下游行业波动、客户自身财务状况恶化等因素导致应收账款和合 同资产不能按期回收，并导致需要计提较大金额的坏账准备或无法回收发生坏账 的情况，将对公司经营业绩、经营性现金流等产生不利影响。

（四）行业风险

1、下游行业波动的风险

公司主营业务为先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与销售，向 下游客户提供尖端薄膜沉积设备、配套产品及服务，主要应用于半导体领域、光 伏领域及其他新兴领域，公司的经营状况与下游行业的发展密切相关。在半导体 领域，如果由于国际政治和经济形势引起的对尖端技术的封锁或者由于下游行业 的周期性波动等，导致半导体行业固定资产投资及对设备需求的下降，将会影响 公司经营业绩；在光伏领域，行业供需结构性失衡问题仍存，行业产能尚在加速 出清，进而影响下游企业对公司产品的需求，也可能对公司的经营业绩产生不利 影响。

2、国内市场竞争加剧的风险

近年来，ALD、CVD 技术因其良好的市场空间和丰富的应用场景受到关注，

在巨大发展潜力的吸引下，国内竞争者开始出现，市场竞争趋于激烈。未来随着 国内竞争企业的增加，可能压缩公司的利润空间，并导致公司市场份额下滑，进 而对公司生产经营产生不利影响。

（五）宏观环境风险

全球产业链重新调整及贸易摩擦对全球经济发展和世界政经格局造成重大 冲击。在此背景下，如果由于上述因素导致国外供应商因相关政策影响减少或者 停止向公司供应零部件，或者国产替代元器件无法达到境外同类产品的质量和技 术标准，则将影响公司产品生产能力、生产进度和交货时间，从而对公司的经营 产生不利影响。

（六）知识产权争议风险

公司薄膜沉积专用设备目前主要应用于半导体集成电路及光伏领域。半导体 集成电路专用设备行业是典型的技术密集型行业，为了保持技术优势和竞争力， 防范技术外泄风险，已掌握先进技术的半导体设备企业通常会通过申请专利、实 施商业秘密保护等方式设置较高的进入壁垒。未来随着公司业务的发展，一方面 存在竞争对手主张公司侵犯其知识产权或请求宣告公司专利无效的情形，另一方 面也存在公司的知识产权被侵权的可能。上述原因均可能导致公司产生知识产权 纠纷，对公司的正常经营活动产生不利影响。

四、重大违规事项

基于前述保荐人开展的持续督导工作，本持续督导期间，保荐人未发现公司 存在重大违规事项。 五、主要财务指标的变动原因及合理性

2026 年 1-6 月，公司主要财务数据及指标如下所示：

单位：万元

2026 年 1-6 月，公司营业收入为 118,925.42 万元，同比上升 13.27%，主要 系报告期内半导体领域的产品量产规模、工艺覆盖度持续提升，批量通过客户验 收，半导体设备收入较去年同期增长 224.77%，同时受光伏行业周期性下行影响， 光伏设备收入较去年同期下降 52.48%。

2026 年 1-6 月，公司归属于上市公司股东的净利润 10,244.92 万元，同比下 降 46.74%。主要系：1）受光伏行业阶段性调整影响，光伏设备业务收入同比回 落；半导体设备业务快速增长，但尚处于规模放量初期，折旧摊销及产品结构等 因素影响较大，叠加客户开发策略的阶段性影响，公司整体营业成本同比上涨较 快，对公司阶段性财务表现形成压力；2）基于谨慎性原则对光伏业务计提较大 金额减值；3）为持续推进半导体设备国产化并巩固新一代光伏电池技术领先优 势，公司保持高强度研发投入，并加快半导体产业化项目建设，研发费用、管理 费用及折旧摊销同比有所增加；4）汇率波动导致汇兑净损失增加及可转债等有 息负债利息支出上升影响，财务费用同比增加。

2026 年 1-6 月，公司经营活动产生的现金流量净额为 19,187.56 万元，由负 转正，主要系与上年同期相比，报告期公司原材料备货充足，购买商品、接受劳 务支付的现金相对减少，同时销售商品、提供劳务收到的现金也较去年同期增加。

六、核心竞争力的变化情况 （一）公司的核心竞争力

1、先进技术路线优势

公司以 ALD 技术为核心，专注于 ALD、CVD 等薄膜沉积工艺技术研发和 应用场景拓展。ALD 工艺可以在 100%阶梯覆盖率的基础上实现原子层级（1 个 纳米约为 10 个原子）的薄膜厚度。随着制程技术节点的不断进步，ALD 工艺优 异的沉积均匀性和一致性使得其在微纳电子学和纳米材料等领域具有广泛的应 用潜力。此外，ALD 技术作为一种具有普适意义的真空镀膜技术，在固态电池、

柔性电子等新型显示、MEMS、催化及光学器件等诸多高精尖领域均拥有良好的 产业化前景。上述任一领域的应用前景均体现了 ALD 的技术特点及优势，为公 司的后续发展提供了广阔市场空间。

2、优秀的研发团队和完善的创新中心平台的优势

公司创始团队、核心管理人员拥有丰富的国内外顶级半导体设备公司研发和 运营管理经验，并积极引入和培养一批经验丰富的电气、工艺、机械、软件等领 域工程师，形成了跨专业、多层次的人才梯队。公司的研发技术团队结构合理， 专业知识储备深厚，工艺开发、产线验证经验丰富，是奠定公司技术实力的基石。 同时，公司已建立的创新中心以现有技术为基础，围绕国产化替代的战略需求， 结合行业内最前沿的技术发展趋势和市场需求，针对先进技术和工艺性能，搭建 了研发平台、高端研发人才培养平台以及未来新项目发展孵化器。创新中心使公 司具有前瞻应用定制化能力，可为客户提供全场景 Demo 设备线，从而能够及时 响应客户的各类需求，为客户提供全方位的解决方案。

3、技术积累与研发创新能力优势

公司坚持自主研发，已形成先进半导体器件薄膜加工技术、薄膜沉积反应器 设计技术、高产能真空镀膜技术、真空镀膜设备工艺反应气体控制技术等十一项 核心技术，上述核心技术成功应用于公司各类产品。公司 iTomic HiK 系列半导 体 ALD 设备、iTronixMTP 系列半导体 CVD 设备和 KF 系列光伏 ALD 设备均被 评为江苏省首台（套）重大装备产品，iTronix 系列半导体 CVD 设备入选江苏省 “两新”技术产品，半导体领域设备成为国产首台成功应用于集成电路制造前道 生产线的量产型 High-k 原子层沉积设备，其他产品也已在半导体及泛半导体领 域经过量产验证，并获得重复订单。

4、平台化的产品矩阵布局优势

公司的设备产品覆盖半导体、光伏、柔性电子等不同的下游应用市场，半导 体领域公司以 ALD 为核心并成功拓展 CVD 等多种薄膜沉积技术和产品，光伏 领域公司持续推进以 ALD 为核心的工艺整线策略和新一代高效光伏电池技术开 发，同时依托创新中心平台探索先进薄膜沉积技术在其他新兴应用领域的发展机

会。多领域、多品类产品覆盖能够一定程度平抑各细分市场波动对公司业绩带来 的影响，同时不断拓宽公司市场规模和成长空间。

5、优质客户资源优势

在半导体领域内，公司率先攻克难度较高的逻辑电路栅氧层等工艺并获得了 客户的重复订单，为公司向全工艺段覆盖奠定客户基础。公司先后获得逻辑、存 储、先进封装、化合物半导体和新型显示领域内多家国内知名半导体公司的商业 订单，多款设备已通过客户严格技术验证，并与多家国内主流半导体厂商及验证 平台签署了保密协议并开展产品技术验证等工作。光伏领域已覆盖包括通威、隆 基、晶澳、晶科、阿特斯、天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商。

6、高效客户服务优势

公司主要产品为非标准化产品，通过将基础研发与行业应用紧密结合，以下 游企业的实际需求为研发导向，为客户定制化开发可量产的工艺、设备及全场景 薄膜沉积解决方案。公司技术服务体系健全，为客户提供及时的驻厂技术服务支 持，及时到达现场排查故障、解决问题，保证快速响应客户的需求，缩短新产品 导入的工艺磨合时间。

（二）核心竞争力变化情况

本持续督导期间，保荐人通过查阅同行业上市公司及市场信息，查阅公司招 股说明书、定期报告及其他信息披露文件，对公司高级管理人员进行访谈等，未 发现公司的核心竞争力发生重大不利变化。

七、研发支出变化及研发进展 （一）研发支出变化

单位：万元

2026 年 1-6 月，公司研发投入总额增加 9,201.58 万元，增长幅度为 60.07%，

主要系三方面因素叠加所致：为强化核心技术壁垒，研发项目持续推进，研发材 料增加以及研发人员增加下职工薪酬增长；实验室设备投入使用带来折旧摊销增 长；股权激励计划实施产生额外股份支付费用。

（二）研发进展

2026 年 1-6 月，公司新增专利授权共计 48 项，累计专利授权达到 298 项； 新增专利申请 91 项，累计专利申请 897 项。

八、新增业务进展是否与前期信息披露一致

本持续督导期间，保荐人通过查阅公司招股说明书、定期报告及其他信息披 露文件，对公司高级管理人员进行访谈，基于前述核查程序，保荐人未发现公司 存在新增业务。 九、募集资金的使用情况及是否合规

本持续督导期间，保荐人查阅了公司募集资金管理使用制度、募集资金专户 银行对账单和募集资金使用明细账，并对大额募集资金支付进行凭证抽查，查阅 募集资金使用信息披露文件和决策程序文件，实地查看募集资金投资项目现场， 了解项目建设进度及资金使用进度，取得上市公司出具的募集资金存放、管理与 实际使用情况专项报告，对公司高级管理人员进行访谈。

1、2022 年首次公开发行股票募集资金

公司于 2024 年 12 月 18 日召开第二届董事会第二十次会议和第二届监事会 第十八次会议，审议通过了《关于使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理的议 案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排的前提 下，使用不超过人民币 1 亿元（含本数）的暂时闲置募集资金进行现金管理，用 于购买安全性高、流动性好、满足保本要求的投资产品（包括但不限于结构性存 款、大额存单等），且投资品种不得用于质押，不用于以证券投资为目的的投资 行为。在上述额度范围内，资金可以循环滚动使用，使用期限不超过董事会审议 通过之日起 12 个月。在上述授权期限届满后，因相关人员疏忽，公司仍使用上

述募投项目部分闲置募集资金进行了现金管理，期间最高余额为 2,000 万元。公 司于 2026 年 8 月 28 日召开第三届董事会第八次会议，对报告期内超出授权期限 使用部分闲置募集资金进行现金管理的情形进行补充确认。

2、2025 年向不特定对象发行可转换公司债券募集资金

报告期内，公司工作人员在 2026 年 6 月错误将募集资金专户资金 6,862.52 万元划转至公司一般账户。2026 年 7 月发现上述误操作行为后，公司立即将该 笔资金及期间产生的利息一并转回募集资金专户。该事项未造成募集资金损失， 相关误操作行为不构成对募集资金的占用。公司将持续加强募集资金管理和使用 自查工作，并督促相关人员加强对募集资金管理制度的学习，后续将严格按照相 关法律法规及公司相关规章制度规范使用募集资金。

除上述事项外，公司已按照《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易 所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》和《上海证券交易所科创 板股票上市规则》的相关规定及时、真实、准确、完整地披露了公司募集资金的 存放及使用情况，不存在其他募集资金管理不规范或应披露而未披露的重大事项。

基于前述核查程序，保荐人认为：本持续督导期间，公司已建立募集资金管 理制度并予以执行，募集资金使用已履行了必要的决策程序和信息披露程序，募 集资金进度与原计划基本一致，基于前述检查未发现其他募集资金管理不规范或 应披露而未披露的重大事项。

十、控股股东、实际控制人、董事和高级管理人员的持股、质押、冻结及减持情 况

截至 2026 年 6 月 30 日，西藏万海盈创业投资合伙企业（有限合伙）持有公 司 22,644.04 万股股份，占总股本的 48.75%，为公司的控股股东，本持续督导期 间，西藏万海盈创业投资合伙企业（有限合伙）持股比例降低 1.68%，主要系被 动稀释和股份减持，转让不会导致公司控股股东发生变化。本持续督导期间，西 藏万海盈创业投资合伙企业（有限合伙）不存在质押、冻结的情况。

截至 2026 年 6 月 30 日，王燕清、倪亚兰、王磊通过西藏万海盈创业投资合 伙企业（有限合伙）、无锡聚海盈管理咨询合伙企业（有限合伙）、无锡德厚盈

投资合伙企业（有限合伙）间接控制公司 57.81%股份，王燕清、倪亚兰、王磊系 公司的实际控制人，同时王磊担任公司董事长；王燕清、倪亚兰系夫妻关系，王 磊系王燕清、倪亚兰之子。本持续督导期间实际控制人间接持股比例降低 1.91%， 主要系被动稀释和股份减持，转让不会导致公司实际控制人发生变化。本持续督 导期间，王燕清、倪亚兰、王磊不存在质押、冻结的情况。

截至 2026 年 6 月 30 日，公司董事、高级管理人员的直接持股及变动情况如 下：

单位：股

本持续督导期间，LI WEI MIN 存在减持股份的情形，主要系询价转让。

除上述情况外，公司控股股东、实际控制人、董事及高级管理人员不存在其 他质押、冻结及减持情况。 十一、保荐人认为应当发表意见的其他事项

基于前述保荐人开展的持续督导工作，本持续督导期间，保荐人未发现应当 发表意见的其他事项。

本报告不构成对上市公司的任何投资建议，保荐机构提醒投资者认真阅读上 市公司审计报告、年度报告等信息披露文件。

（以下无正文）

（本页无正文，为《中信证券股份有限公司关于江苏微导纳米科技股份有限公司 2026 半年度持续督导跟踪报告》之签字盖章页）

保荐代表人： 于军杰 代亚西

于军杰 代亚西

中信证券股份有限公司

2026 年 9 月 16 日