中微半导体设备（上海）股份有限公司 2026年半年度业绩预告的自愿性披露公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

• 中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）预计2026年半年度营业收入约66.91亿元，同比增加约17.31亿元，同比增长约 34.89%。

• 公司预计2026年半年度实现归属于母公司所有者的净利润为27亿元到 29亿元，同比增加 282.48%到 310.81%。

• 公司已开发出54种高端半导体设备，包括26种高能和低能等离子体刻蚀机设备，24种各类薄膜设备、化学机械抛光设备和量检测设备。刻蚀和薄膜设备的加工的精度已经达到了原子级水平。截至2026年6月底，公司累计已有超过8800个反应台在国内外220余条生产线实现量产。公司新产品研发速度显著加快，未来公司有望更大规模地推出有竞争力的新设备，并顺利进入市场。2026年上半年公司研发投入约20.42亿元，同比增加5.50亿元，同比增长约 36.89%， 2026年上半年研发投入占公司营业收入比例约为 30.52%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平（10%~15%）。

一、本期业绩预告情况

（一）业绩预告期间

2026年1月1日至2026年6月30日。

（二）业绩预告情况

1. 经财务部门初步测算，公司预计2026年半年度实现归属于母公司所有者的净利润为27亿元到29亿元，同比增加 282.48%到 310.81%。

1. 经财务部门初步测算，公司预计2026年半年度实现归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润为10亿元到12亿元，同比增加 85.61%到 122.73%。

（三）本次业绩预告未经注册会计师审计。

二、上年同期业绩情况

2025年上半年度，公司营业收入49.61亿元，实现归属于母公司所有者的净利润7.06亿元，归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润5.39亿元。

三、本期业绩变化的主要原因

公司2026年上半年业绩预计较上年同期变化的主要原因如下：

1、2026年上半年，公司营业收入约66.91亿元，同比增长约 34.89%。公司站在先进制程工艺发展的最前沿，坚持技术的创新、产品的差异化和知识产权保护的基本原则。坚持原创的设计，和国际领先的半导体客户公司同步前行。公司目前在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场，公司有望在未来几年更大规模地推出新产品。公司持续加大研发创新力度，自主开发的各类新产品对标国际先进同类设备技术水准，多款机型经客户端验证，关键性能指标达到国际先进水平，部分指标优于海外标配设备。

2、2026年上半年，公司归母净利润为27亿元到29亿元，同比增加19.94亿元至21.94亿元（增长约 282.48%到 310.81%）的主要原因：（1）2026年上半

年营业收入增长 34.89% ，毛利较去年增长约6.82亿元；（2）2026年上半年公司研发投入约20.42亿元，同比增加5.50亿元（增长约 36.89%），2026年上半年研发投入占公司营业收入比例约为 30.52% ，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平（10%~15%）。2026年上半年研发费用约13.10亿元，较去年增长约 1.93亿元（增长约 17.31%）；（3）经评估师评估初步结果，公司以公允价值计量且其变动计入当期损益的对外股权投资于2026年上半年产生公允价值变动收益和投资收益合计约19.82亿元，较2025年上半年的1.68亿元增加约18.15亿元。

3、2026年上半年，公司扣非后归母净利润为10亿元到12亿元，同比增加 4.61亿元至6.61亿元（增长约 85.61%到 122.73%）的主要原因：2026年上半年营业收入增长 34.89%，毛利较去年增长约6.82亿元，以及2026年上半年研发费用较去年增长约1.93亿元。

四、风险提示

公司不存在影响本次业绩预告内容准确性的重大不确定因素。

五、其他说明事项

以上预告数据仅为初步核算数据，具体准确的财务数据以公司正式披露的 2026年半年报为准，敬请广大投资者注意投资风险。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会