中微半导体设备（上海）股份有限公司大股东减持股份计划公告

本公司董事会、全体董事及相关股东保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

大股东持有的基本情况

截至本公告披露日，巽鑫（上海）投资有限公司（以下简称“巽鑫投资”）持有中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）股份55,951,010股，占公司总股本的 8.90%。

减持计划的主要内容

公司收到巽鑫投资出具的《关于股份减持计划的告知函》，巽鑫投资计划自本公告披露之日起15个交易日后的3个月内，在符合法律法规规定的减持前提下，通过集中竞价、大宗交易方式减持公司股票不超过总股本的 2%。

一、减持主体的基本情况

股东名称

巽鑫（上海）投资有限公司

股东身份

控股股东、实控人及一致行动人

□是√否

直接持股5%以上股东

√是□否

董事、监事和高级管理人员

□是√否

其他：/

持股数量

55,951,010股

持股比例

8.90%

当前持股股份来源

IPO前取得：55,951,010股

上述减持主体无一致行动人。

大股东过去12个月内减持股份情况

股东名称

减持数量(股)

减持比例

减持期间

减持价格区间(元/股)

前期减持计划披露日期

巽鑫(上海)投资有限公司

12,522,906

2%

2026/2/11~2026/4/29

288.46-376.19

2026年1月9日

巽鑫(上海)投资有限公司

12,522,906

2%

2025/9/22~2025/11/13

236.22-289.22

2025年8月27日

二、减持计划的主要内容

股东名称

巽鑫（上海）投资有限公司

计划减持数量

不超过：12,576,818股

计划减持比例

不超过：2%

减持方式及对应减持数量

集中竞价减持，不超过：6,288,409股大宗交易减持，不超过：6,288,409股

减持期间

2026年6月12日～2026年9月11日

拟减持股份来源

IPO前取得的股份

拟减持原因

自身经营管理需要

预披露期间，若公司股票发生停牌情形的，实际开始减持的时间根据停牌时间相应顺延若公司在上述期间内发生送股、资本公积金转增股本等股份变动事项，将对拟减持股份数量进行相应调整。

（一）相关股东是否有其他安排 □是 $ \sqrt{} $否

（二）大股东及董监高此前对持股比例、持股数量、持股期限、减持方式、减持数量、减持价格等是否作出承诺 □是 $ \sqrt{ } $否

（三）是否属于上市时未盈利的公司，其控股股东、实际控制人、董事、监事、

高级管理人员拟减持首发前股份的情况 □是 $ \sqrt{} $否

（四）本所要求的其他事项

无

三、控股股东或者实际控制人减持首发前股份

是否是控股股东或者实际控制人拟减持首发前股份的情况 □是 $ \sqrt{ } $否

四、减持计划相关风险提示

（一）减持计划实施的不确定性风险，如计划实施的前提条件、限制性条件以及相关条件成就或消除的具体情形等

上述减持主体将根据市场情况、公司股价等因素决定是否实施本次减持计划，本次减持计划的实施存在减持时间、减持数量、减持价格等不确定性。本次减持计划不会对公司治理、持续性经营产生影响。

（二）减持计划实施是否可能导致上市公司控制权发生变更的风险是 $ \surd $否

（三）其他风险提示

本次减持计划符合《中华人民共和国证券法》《上市公司股东减持股份管理暂行办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第15号——股东及董事、高级管理人员减持股份》等有关法律法规的规定。上述减持主体将严格按照法律法规及相关监管要求实施减持，本公司及上述减持主体将及时履行信息披露义务。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2026年5月23日